高校微电子洁净室安全管理前景

基于高校实验室安全工作者“以人为本、安全第一、预防为主”的行为方针，旨在建立“健康、安全、环保”的实验室科研和教学工作环境，围绕微电子学科洁净实验室的特点和相关法律法规，给出一系列洁净室安全管理措施，以提升高校洁净室的安全隐患防范水平和治理效能。

近年来欧美发达国家对我国微电子行业高举制裁大棒，华为、中兴等微电子高科技企业深受其害，我国坚决走上独立自主地发展微电子产业的道路，让我国微电子行业的关键技术、关键材料、关键人才、相关专利等都牢牢掌握在自己手中；微电子产业的发展并非一朝一夕，电子元器件的关键性尺寸（Critical Dimension）、缺陷（Defect）等都是微米级、纳米级，所以要求本产业的工作环境都是高等级的无尘洁净室。在这场微电子技术战争中，高校应当是技术创新和发展的重要阵地。

由于国家政策的支持、产业的需要，近些年很多大学纷纷成立了微电子学院，因此，高校能够配套建设、利用并高效安全地管理高等级的无尘洁净室，对人才培养方面能起到事半功倍的效果。本文结合笔者对所在实验室微电子设备的管理，包括物理气相沉积设备（PhysicalVapor Deposition, PVD）、化学气相沉积设备（Che-mical Vapor Deposition, CVD）、光刻机、高温氧化炉等，分析探讨洁净室安全管理方面的一些经验，对高校洁净室的使用提供一些有益的措施。